真空泵的要能夠保證抽出工藝過程中的氣體，真空泵選型也要保證真空泵的適用性，就需要了解氣體中是否含有可凝氣體、是否含有粉塵顆粒、是否具有腐蝕性、易燃易爆等；如果氣體中含有可凝性氣體和顆粒塵埃，應該考慮，水環式真空泵在工作過程中是等溫的。

2、真空泵排出來的油蒸氣對環境是否具有影響。
　　如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到可控區域。

3、真空設備部件材質的要求。
　　如酸堿氣體需要有對應的防腐涂層或泵的材質改用不銹鋼防腐蝕；帶有灰塵或顆粒的氣體時，要在泵入口前加除塵器、過濾器或泵本身對其有耐受性等等。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，若要求不嚴格，可以選擇有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

4、真空泵工作時產生的振動。
　　真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響，對于環境不允許時，可以選擇無振動的泵或者采取減震措施。

5、真空泵的極限真空度
　　真空泵選型時的極限真空度是泵抽速為零的時候所能達到的真空度，必須高于工藝生產要求的真空度，至少要高一個數量級，并且設備適合在要求的工作真空度范圍內工作。

6、準確地組合真空泵。
　　由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，可以把多種泵組合成組合泵，互相補充達成抽氣目的。有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來運用。
前級泵在主泵出口處產生的壓力要比主泵所排出的最大排氣壓力低，前級泵應保證能夠及時排出主泵所排出的氣體，最后，兼作預抽泵的前級泵要滿足預抽時間和預抽真空度的要求。

7、所選真空泵的價錢、運行及維護費用。
　　真空泵選型過程中，多種真空泵能同時滿足工藝需求時，要進行成本和運轉費用的經濟性分析，選用經濟性好，運行可靠，維修量小，使用與維修方便的真空泵。